Beschichtungstechnik

BeschichtungstechnikJUST VACUUM bietet zusammen mit seinen Lieferanten Magnetron-Sputter-Quellen, die den gesamten Gebrauchsbereich abdecken, angefangen von kleinen individuellen F&E-Quellen und -Gruppen bis hin zu großen rechteckigen Quellen mit einer Länge von mehreren Metern.

Unser Partner verfügt über umfangreiche Modellierungs- und Sputtereinrichtungen im eigenen Hause, in Kombination mit jahrelanger Erfahrung in einer Reihe verschiedener Dünnschichtauftragstechniken. Zu den Simulationsfähigkeiten gehören Finite-Elemente-Magnetfeld- und Auftragsflussmodellierung, sowie FE.-Wärmeübertragung und Stressanalyse. Es stehen Prüfeinrichtungen für Sources mit einer Länge von bis zu 2,5 m (100 Zoll) standardmäßig und auf Anfrage von 5 m zur Verfügung.
 
Aufgrund der großen Vielfältigkeit der Anwendungsmöglichkeiten für Sputtern und die verschiedenen betrieblichen Aspekte kann kein einzelnes Kathodendesign allen Anforderungen gerecht werden. Daher werden zur Optimierung der Leistungen eine Reihe verschiedener Typen einzigartiger Magnetarrays angeboten, die in die standardmäßigen Magnetron-Designs jeder Größe integriert werden können. Alle Quellen-Designs optimieren die Target-Ausnutzung.

 

Datenblätter und Broschüren
Bitte fragen Sie uns an: info@justvacuum.com