JUST
VACUUM bietet zusammen mit seinen Lieferanten Magnetron-Sputter-Quellen, die den
gesamten Gebrauchsbereich abdecken, angefangen von kleinen individuellen
F&E-Quellen und -Gruppen bis hin zu großen rechteckigen Quellen mit einer Länge
von mehreren Metern.
Unser Partner verfügt über umfangreiche Modellierungs- und
Sputtereinrichtungen im eigenen Hause, in Kombination mit jahrelanger
Erfahrung in einer Reihe verschiedener Dünnschichtauftragstechniken. Zu den
Simulationsfähigkeiten gehören Finite-Elemente-Magnetfeld- und
Auftragsflussmodellierung, sowie FE.-Wärmeübertragung und Stressanalyse. Es
stehen Prüfeinrichtungen für Sources mit einer Länge von bis zu 2,5 m (100 Zoll)
standardmäßig und auf Anfrage von 5 m zur Verfügung.
Aufgrund der großen Vielfältigkeit der Anwendungsmöglichkeiten für Sputtern und
die verschiedenen betrieblichen Aspekte kann kein einzelnes Kathodendesign allen
Anforderungen gerecht werden. Daher werden zur Optimierung der Leistungen eine
Reihe verschiedener Typen einzigartiger Magnetarrays angeboten, die in die
standardmäßigen Magnetron-Designs jeder Größe integriert werden können. Alle
Quellen-Designs optimieren die Target-Ausnutzung.
| Datenblätter und Broschüren |
| Bitte fragen Sie uns an: info@justvacuum.com |




