Wir konstruieren und fertigen auch Sputteranlagen z.B. zur Dünnfilmbeschichtung mit Vorbehandlungsmöglichkeiten durch Heizen und Sputterätzen für unterschiedliche technische Anwendungen. Unsere Anlagen werden nach Ihrer Spezifikation komplett ausgerüstet mit Kammer, Sputterquellen, Pumpen, Verrohrung, Messgeräte, Steuerung usw.

Unser Leistungsumfang umfasst:

• Engineering und Konstruktion
• Erstellen aller für die Fertigung erforderlichen Zeichnungen
• Herstellung unter Beachtung HV- und UHV-technischer Anforderungen
• Oberflächen gebeizt bzw. glasfaserperlfeingestrahlt, je nach Anforderung
• Vakuumgerechte Reinigung
• He-Lecktest mit Prüfzertifikat. Je nach Anwendung zwischen <1x10E-9 mbar l/s - 10E-4 mbar l/s